Das Vakuumventil ist ein Schlüsselgerät für die Flüssigkeitsregulierung in einer Vakuumumgebung durch Präzisionsversiegelung und Antriebskontrolle. Sein Arbeitsmechanismus kann in die folgenden Kernmodule unterteilt werden:
1. Kernarbeitsmechanismus
Sealing Partition
Die dynamische Seehunde (anstelle der herkömmlichen Verpackung) nimmt die Burge aus und verzieht sich, wenn sich der Ventilstamm bewegt, um die luftdicht zu erhalten, und die Leckage ist weniger oder gleich 1 × 10⁻¹⁰ pa · m³/s.
Wenn das Tor geschlossen ist, bildet es eine molekulare Passform mit dem spiegelpolierten Ventilsitz (RA weniger als 0,2 μm) und kooperiert mit dem Kupferlegierring, um den Kontaktversiegelungseffekt zu verbessern.
Drive Control
MANUAL TYPE: Wurmgetriebe, der Balg wird durch Drehen des Handrads auf und ab gedreht, und das Drehmoment beträgt weniger als 15n · m4.
Elektrisches Typ: Schrittmotorantrieb, Positionierungsgenauigkeit von 0,01 mm, geeignet für Halbleiter -Wafer -Übertragungssysteme.
Pneumatischer Typ : Druckluft treibt den Zylinderkolben an, die Reaktionszeit ist<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Pressures Gleichgewicht
Die Ventilbehörde ist mit einem KF16 -Hilfsluft -Extraktionsanschluss ausgestattet. Vor dem Öffnen und Schließen wird eine unabhängige Vakuumpumpe verwendet, um die Druckdifferenz zwischen dem Ventilhohlraum und dem System (ΔP ＜ 10pa) auszugleichen, um Luftstromstörungen zu verhindern.
2. Typischer Arbeitsmodus
| Modus | Betriebsprozess | Anwendung |
|---|---|---|
| Fulisch eingeschlossen | Das Tor drückt den Ventilsitz vollständig, um eine Doppeldichtung zu bilden (Balg + Kontaktfläche). | Partikelbeschleuniger -Strahlrohrisolation |
| Durchflussregulierung | Die Ventilplattenöffnung wird bei 10%-90%gesteuert und die lineare Durchflussregelung wird durch die V-förmige Drosselnut erreicht | Gaseinspritzung für Vakuumbeschichtungsprozess |
| Schneller Schnitt | Der pneumatische Aktuator löst das Notfallablauf des Notfalls, die Reaktionszeit unter oder gleich 0,3s auslöst | Nuklearfusionsvorrichtung Leckage Notfall |
| Druckwartung | Mit dem Vakuummessgerät verknüpft ist die Ventilöffnung automatisch fein abgestimmt, um den eingestellten Vakuumgrad (± 0,5 Pa) aufrechtzuerhalten. | Weltraumumgebungssimulationskammer |
3. Material- und Prozessmerkmale
Valve Body : 316L Ultra-niedriger Kohlenstoff-Edelstahl-Elektrolytpolieren, wodurch die Gasadsorptionsoberfläche um mehr als 60% reduziert wird
Sealing-Komponenten: Hastelloy C-276 Balg (resistent gegen 100.000 Müdigkeitszyklen) + Sauerstofffreier Kupferdichtungsring (Vickers Härte Hv80)
Oberflächenbehandlung:
4. Anwendungsszenario -Vergleich
| Feld | Ventiltyp | Vakuumanforderungen | Besondere Bedürfnisse |
|---|---|---|---|
| Halbleiterfertigung | Elektrisches Hochvakuumventil | Weniger als oder gleich 1 × 10 ° C pa | Resistent gegen 150 Grad Back, Null Partikelfreisetzung |
| Raumschiff -Tests | Pneumatisches Schnellschließventil | Weniger als oder gleich 1 × 10 ° C pa | Vibrationswiderstand (20-2000 Hz) |
| Synchrotronstrahlungsquelle | Flüssiggekühltes Ventil | Weniger als oder gleich 1 × 10 ° C pa | Flüssigstickstoffkühlmantel (-196 Grad) |
| Nuklearfusionsvorrichtung | Strahlungsbeständiges Isolationsventil | Weniger als oder gleich 1 × 10 ° C pa | Neutronenbestrahlungswiderstand (10¹⁹ N/cm²) |
5. Leistungsbegrenzungsparameter
Temperaturbereich: -269 Grad (Flüssigheliumkühlungstyp) bis 450 Grad (Typ mit hoher Temperaturlegierung)
Durchmesserbereich: Mikroventil φ6mm bis großer Vakuumkammerventil φ1200 mm
Lebensindex: Balgsiegelbaugruppe mehr oder gleich 50.000 Öffnungs- und Schließzyklen