Helium -Leck -Test
Prinzip
Helium ist ein Gas mit extrem kleinem Molekulargewicht und starker Permeabilität. Der Helium-Leck-Test verwendet die hochempfindliche Detektionsfunktion des Helium-Massenspektrometers, um die Versiegelungsleistung des Ventils zu bestimmen, indem festgestellt wird, ob sich außerhalb des Ventils Helium-Leckagen befindet. Wenn das Ventil mit Helium gefüllt ist und im Ventil einen Leckagekanal vorhanden ist, versickert Helium aus dem Leck an die Außenseite des Ventils. Der Helium-Massenspektrometer-Leckdetektor kann extrem geringe Mengen an Helium-Leckagesignalen erfassen und so die Erkennung der Versiegelung des Ventils mit hoher Präzision erfüllen.
Betriebsschritte
Vorbereitung
Legen Sie das Ventil in einen gut versiegelten Testbehälter oder -system, um sicherzustellen, dass die Verbindung zwischen dem Ventil und der Testumgebung eng ist und es keinen zusätzlichen Leckagepfad gibt. Installieren Sie beispielsweise in einem dedizierten Helium -Leck -Erkennungslabor für ein Präzisions kleines Ventil es in einem speziellen versiegelten Testbox und schließen Sie es über eine Rohrleitung an die Heliumquelle und den Helium -Massenspektrometer -Lecketektor an.
Kalibrieren und den Helium -Massenspektrometer -Leckdetektor vorheizen, um es in normalem Arbeitszustand zu setzen. Der Kalibrierungsprozess ist ein wichtiger Schritt, um sicherzustellen, dass der Leckdetektor Helium -Lecks genau erkennen kann, und er muss streng gemäß den Betriebsanweisungen des Instruments betrieben werden.
Heliumfüllung
Aufblasen Sie das Ventil mit Helium bei einem bestimmten Druck. Der Heliumfülldruck sollte angemessen entsprechend den Art, Größe und Testanforderungen des Ventils eingestellt werden und wird im Allgemeinen bei einem niedrigeren Druck durchgeführt, um eine Beschädigung des Ventils zu vermeiden oder die normale Arbeitsleistung zu beeinflussen. Beispielsweise kann für ein mittelgroßes Ventil der Heliumfülldruck auf 0.5 - 1 -Balken eingestellt werden.
Stellen Sie während des Heliumfüllungsprozesses sicher, dass das Helium alle Teile des Ventils gleichmäßig füllt. Das Helium kann durch Schütteln oder Vibration des Ventils diffundiert werden. Achten Sie gleichzeitig darauf, die Geschwindigkeit der Heliumfüllung zu kontrollieren, um übermäßige Druckschwankungen oder andere unerwartete Situationen zu vermeiden, die durch zu schnelle Füllung verursacht werden.
Lecks erkennen
Verwenden Sie einen Helium -Massenspektrometer -Leckdetektor, um die Außenseite des Ventils zu scannen und zu erfassen. Der Bediener bewegt die Leckdetektorsonde langsam entlang der Oberfläche des Ventils, um sicherzustellen, dass alle möglichen Lecks bedeckt sind, wie z.
Wenn das Helium -Massenspektrometer -Leckdetektor ein Heliumleck erkennt, sendet das Instrument ein Signal und zeigt die Leckrate an. Die Größe der Leckrate spiegelt den Schweregrad des Ventillecks wider, der im Allgemeinen in Bezug auf das Volumen oder die Masse von Helium pro Zeiteinheit ausgedrückt wird. Nach verschiedenen Anwendungsszenarien und Standardanforderungen gibt es eindeutige Vorschriften für die zulässige Leckage der Ventile. Beispielsweise kann die zulässige Leckage der Ventile, die in einigen High-End-Semiconductor-Herstellungsgeräten verwendet wird, sehr niedrig sein, normalerweise müssen unter 10 ° C ・ m³/s liegen.
Wenn ein Leck erkannt wird, ist es erforderlich, den Leckort weiter zu bestimmen. Der Leckpunkt kann genau lokalisiert werden, indem eine kleine Menge Helium auf verschiedene Teile der Ventiloberfläche aufgetragen wird und dann den Leckdetektor erneut zur Erkennung verwendet wird, wodurch die Änderung der Leckrate beobachtet wird.
Anwendungsszenario
Der Helium-Leck-Test eignet sich für Ventile mit extrem hohen Versiegelungsanforderungen wie in High-Tech-Feldern wie Kernenergie, Luft- und Raumfahrt und Halbleitern. Im Bereich der Kernenergie müssen die Ventile im primären Schaltungssystem von Kernkraftwerken hohen Temperaturen, hohen Druck und radioaktiven Umgebung standhalten und extrem hohe Versiegelungsanforderungen aufweisen. Jedes kleine Leck kann schwerwiegende Sicherheitsunfälle verursachen. Daher wird ein Helium -Leck -Test verwendet, um die absolute Versiegelung des Ventils zu gewährleisten. Im Bereich der Luft- und Raumfahrt müssen die Ventile im Kraftstoff- und Oxidationsmittelabgabesystem von Raketenmotoren keine Leckage sicherstellen, um die Startsicherheit und die stabile Leistung der Rakete zu gewährleisten. Der Helium -Leck -Test ist ein wichtiges Mittel, um die Versiegelung dieser Ventile zu erfassen. In der Semiconductor Manufacturing Industry sind im Produktionsprozess hohe Purity-Gase erforderlich. Kleinere Lecks in Ventilen kontaminieren das Gas und beeinflussen die Qualität der Chips. Daher werden Helium -Leck -Tests häufig verwendet, um die Versiegelungsleistung der Ventile sicherzustellen und die strengen Anforderungen des Produktionsprozesses zu erfüllen.
