Vakuumtorventil

Das Vakuum -Gate -Ventil ist ein speziell für Vakuumsysteme entwickeltes Ventil. Es realisiert die Fluid-Off-Kontrolle durch vertikales Anheben der Torplatte. Seine Kernfunktion besteht darin, die Versiegelung der Rohrleitung und die mittlere Isolation in einer Vakuumumgebung sicherzustellen. Die Versiegelungsleistung ist besser als die der gewöhnlichen Tortenventile, und der anwendbare Vakuumbereich beträgt normalerweise 10⁻⁴ ~ 10 ° C 7 Pa.

Kernstruktur und Arbeitsprinzip
‌Sealing Design‌:
Einnahme einer doppelten Dichtungsstruktur: Ein Vakuumversiegelungsring (Selbsexpansions- und Kompressionsdesign) wird zur Ventilstammpackung gegeben, und der Ventilsitz und das Tor werden durch den mittleren Druck selbst versiegelt (der mittlere Druck drückt das Tor zum Ventilsitz, wenn sie geschlossen).
Der erzwungene Dichtungsart muss sich auf den externen Druck (wie z. B. Bolzenvorladen) verlassen, um den Versiegelungseffekt zu verbessern.
‌Key -Komponenten‌:
Der Ventilkörper besteht normalerweise aus rostfreiem Stahl (wie 304, 316L), was gegen die Korrosion von Vakuumumgebungen resistent ist.
Der Gate- und Ventilsitz bestehen aus Carbid oder Polytetrafluorethylen (PTFE), um das Leckagenrisiko zu verringern.

 

Vakuumtorventil

 

Anwendungen
Vakuumbeschichtungsausrüstung: Wird zur Vakuumisolierung und Gasflusskontrolle von Beschichtungskammern verwendet;
Semiconductor-Herstellung: Versiegelung und Abschneiden von Gasabgabesystemen mit hoher Purity;
Wissenschaftliche Forschung experimentelle Ausrüstung: Vakuumpipeline -Management von Partikelbeschleunigern, Vakuumöfen und anderen Geräten

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